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硅片多线切割技术

时间: 2024-02-25 07:28:02 作者: 杏彩平台登陆注册

  线切割机对硅片切割能力的强弱,与砂浆的粘度有着不可分割的关系。而砂浆的粘度又取决于硅片激光划片机切割液的粘度、硅片切割液与碳化硅微粉的适配性、硅片切割液与碳化硅微粉的配比比例、砂浆密度等。只有达到机器要求标准的砂浆粘度(如NTC机器要求250左右)才能在切割过程中,提高切割效率,提高成品率。

  钢线在高速运动中,要完成对硅料的切割,必须由砂浆泵将砂浆从储料箱中打到喷砂咀,再由喷砂咀喷到钢线上。砂浆的流量是否均匀、流量能否达到切割的要求,都对切割能力和切割效率起着很关键的作用。如果流量跟不上,就会出现切割能力严重下降,导致线痕片、断线、甚至是机器报警。

  由于线切割机能够准确的通过用户的要求进行单向走线和双向走线,因而两种情况下对线速的要求也不同。单向走线时,钢线从始至终保持一个速度运行(MB和HCT能够准确的通过切割情况在不同时间作出手动调整),这样相对来说比较容易控制。目前单向走线的操作慢慢的变少,仅限于MB和HCT机器。

  双向走线时,钢线速度开始由零点沿一个方向用2-3秒的时间加速到规定速度,运行一段时间后,再沿原方向慢慢降低到零点,在零点停顿0.2秒后再慢慢地反向加速到规定的速度,再沿反方向慢慢降低到零点的周期切割过程。在双向切割的过程中,线切割机的切割能力在一些范围内随着钢线的速度提高而提高,但不能低于或超过砂浆的切割能力。如果低于砂浆的切割能力,就会出现线痕片甚至断线;反之,如果超出砂浆的切割能力,就可能会引起砂浆流量跟不上,从而出现厚薄片甚至线痕片等。

  钢线的张力是硅片切割工艺中相当核心的要素之一。张力控制不好是产生线痕片、崩边、甚至短线、钢线的张力过小,将会导致钢线弯曲度增大,带砂能力变弱,切割能力降低。从而出现线、钢线张力过大,悬浮在钢线上的碳化硅微粉就会难以进入锯缝,切割效率降低,出现线痕片等,并且断线、如果当切到胶条的时候,有时会因为张力使用时间过长引起偏离零点的变化,出现崩边等情况。

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